물리적 방법을 이용한 Cell 공정에서의 액정량 과부족 판별 방법에 대한 연구

Abstract

본 논문에서는 물리적 방법을 이용하여 Cell 공정내의 액정량 과부족을 판별 할 수 있는 방법에 대한 연구를 하였다. Liquid Crystal Display(LCD) 공정에서 생기는 오류들은 mura defection, 오줌액정 현상 등을 야기한다. 이러한 문제를 방지하기 위해 LCD공정 과정에는 공정검사가 존재하는데, 이는 LCD Panel의 완성 후 전수로 이루어지게 된다. 또한 공정 내에서 액정의 양은 오류발생의 중요한 요인이지만, 액정주입량에 대한 직접적인 검사는 존재하지 않는다. 만약 액정주입이 잘못된다면 추후 공정과정에서 자원들이 낭비되게 되는 생산구조 이다. 본 논문에서는 이 문제를 해결하기 위해서 액정 주입량을 공정 중에 확인 할 수 있는 물리적인 방법을 고안하였다. 물리적인 충격으로 In-Place-Switching(IPS)-LCD Panel에 Pooling Effect를 발생시켜 액정량과 현상의 물리적 상관관계를 Pooling Effect 유지 시간에서 찾는 방법을 고안하였고, 연구 과정에서 각각의 Panel에 동일한 물리적인 충격을 줄 수 있는 장치와 Pooling Effect 유지시간 검출 방법 역시 장비로 구현하였다. 이 검사방법이 LCD공정 중 액정 주입 이후에 추가된다면 LCD 공정 내의 수득률을 높이고 낭비되는 자원을 막을 수 있을 것이다.