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고주파 음이온원에서 효율적인 수소음이온 생성을 위한 플라즈마 변수 제어
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- Authors
- Advisor
- 황용석
- Issue Date
- 2006
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 수소 음이온 ; negative hydrogen ion ; 고주파 유도결합 플라즈마 ; transformer coupled plasma using rf ; 필터 자장 ; filtering magnetic field ; 진동여기 중성분자 ; vibrationally exited molecules ; 전자 온도 제어 ; control of electron temperature
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :원자핵공학과, 2006.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000049225
https://hdl.handle.net/10371/12793
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