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구리배선형성용 연마슬러리에 사용되는 부식방지제 및 공정 연구
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- Authors
- Advisor
- 김재정
- Issue Date
- 2005
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 구리배선형성 ; metallization ; 금속화공정 ; slurry ; 슬러리 ; corrosion ; 부식방지제 ; inhibitor ; 벤조트리아졸 ; CMP ; 아미노테트라졸 ; BTA ; 부식 ; ATRA ; 침하 ; erosion ; 디싱 ; dishing ; 버핑. ; buffing
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2005.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000052920
https://hdl.handle.net/10371/13372
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