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Ni-MILC의 결정화 속도에 영향을 주는 금속에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 주승기
- Issue Date
- 2004
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 금속유도측면결정화 ; MILC ; 다결정 실리콘 ; Poly-Si ; 비정질 실리콘 ; A-Si ; 박막트랜지스터 ; TFT ; 실리사이드 부피 변화 ; Silicide Volumetric Change
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2004.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000056037
https://hdl.handle.net/10371/14342
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