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열 필라멘트법에 의한 저온 다결정 실리콘 박막의 화학 기상 증착
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김도연 | - |
| dc.contributor.author | 김진용 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-24T23:11:08Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-24T23:11:08Z | - |
| dc.date.copyright | 2003. | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000058138 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14660 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2003. | kor |
| dc.format.extent | 47 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | kor |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 다결정 | kor |
| dc.subject | Poly-Si | kor |
| dc.subject | 결정화 | kor |
| dc.subject | Silicon | kor |
| dc.subject | 실리콘 | kor |
| dc.subject | Crystallization | kor |
| dc.subject | 박막 | kor |
| dc.subject | Charged cluster model | kor |
| dc.subject | 전하를 띤 클러스터 모델 | kor |
| dc.subject | Thin film | kor |
| dc.subject | 화학 기상 증착 | kor |
| dc.subject | Hot filament chemical vapor deposition | kor |
| dc.title | 열 필라멘트법에 의한 저온 다결정 실리콘 박막의 화학 기상 증착 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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