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Growth of GaN thin film using silica microspheres coated sapphire substrate : 실리카 볼이 코팅된 사파이어 기판을 사용한 고품질의 질화갈륨 박막의 성장
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- Authors
- Advisor
- 윤의준
- Issue Date
- 2009
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 유기 금속 화학 기상 증착 법 ; GaN film ; 실리카 볼 ; ELOG mechanism ; 스핀 코팅 ; silica microspheres ; 자기조립 단 분자 막 ; 질화 갈륨
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부, 2009.2.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000036864
https://hdl.handle.net/10371/14784
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