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성장 조건이 CVD를 이용한 실리콘 나노와이어 합성에 미치는 영향
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 김형준 | - |
dc.contributor.author | 권선영 | - |
dc.date.accessioned | 2009-11-25 | - |
dc.date.available | 2009-11-25 | - |
dc.date.copyright | 2008. | - |
dc.date.issued | 2008 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041098 | kor |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14825 | - |
dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2008.2. | kor |
dc.format.extent | x, 128 장 | kor |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
dc.subject | 실리콘 나노와이어 | kor |
dc.subject | Silicon nanowire | kor |
dc.subject | 기체-액체-고체 (V-L-S) 성장 기구 | kor |
dc.subject | Vapor-Liquid-Solid (VLS) growth | kor |
dc.subject | 공정 압력 | kor |
dc.subject | pressure in CVD | kor |
dc.subject | 유량 | kor |
dc.subject | source gas flow rate | kor |
dc.subject | 실리콘산화물 기판 | kor |
dc.subject | silicon oxide substrate | kor |
dc.title | 성장 조건이 CVD를 이용한 실리콘 나노와이어 합성에 미치는 영향 | kor |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
dc.description.degree | Master | kor |
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