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성장 조건이 CVD를 이용한 실리콘 나노와이어 합성에 미치는 영향

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dc.contributor.advisor김형준-
dc.contributor.author권선영-
dc.date.accessioned2009-11-25-
dc.date.available2009-11-25-
dc.date.copyright2008.-
dc.date.issued2008-
dc.identifier.urihttp://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041098kor
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10371/14825-
dc.description학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2008.2.kor
dc.format.extentx, 128 장kor
dc.language.isoko-
dc.publisher서울대학교 대학원kor
dc.subject실리콘 나노와이어kor
dc.subjectSilicon nanowirekor
dc.subject기체-액체-고체 (V-L-S) 성장 기구kor
dc.subjectVapor-Liquid-Solid (VLS) growthkor
dc.subject공정 압력kor
dc.subjectpressure in CVDkor
dc.subject유량kor
dc.subjectsource gas flow ratekor
dc.subject실리콘산화물 기판kor
dc.subjectsilicon oxide substratekor
dc.title성장 조건이 CVD를 이용한 실리콘 나노와이어 합성에 미치는 영향kor
dc.typeThesis-
dc.contributor.department재료공학부-
dc.description.degreeMasterkor
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