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씨앗 층에 의한 비정질 실리콘의 결정화와 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제작
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- Authors
- Advisor
- 주승기
- Issue Date
- 2008
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 ; poly-Si TFT ; 씨앗 층 ; seed layer ; 누설 전류 ; leakage current ; 실리사이드 ; silicide
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2008.2.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041114
https://hdl.handle.net/10371/15032
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