Publications
Detailed Information
알루미늄 박막에서의 캐핑 층이 힐락 형성에 미치는 영향 평가 : Effect of capping layer on hillock formation in Al thin films
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 주영창 | - |
dc.contributor.author | 장광호 | - |
dc.date.accessioned | 2009-11-25T03:15:50Z | - |
dc.date.available | 2009-11-25T03:15:50Z | - |
dc.date.copyright | 2007. | - |
dc.date.issued | 2007 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000043719 | kor |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/15079 | - |
dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2007. | kor |
dc.format.extent | 72 장 | kor |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
dc.subject | 힐락. 캐핑 층 | kor |
dc.subject | Al film | kor |
dc.subject | 알루미늄 | kor |
dc.subject | Hillock | kor |
dc.subject | 박막 | kor |
dc.subject | Capping layer | kor |
dc.subject | Thin film | kor |
dc.title | 알루미늄 박막에서의 캐핑 층이 힐락 형성에 미치는 영향 평가 | kor |
dc.title.alternative | Effect of capping layer on hillock formation in Al thin films | kor |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
dc.description.degree | Master | kor |
- Appears in Collections:
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Item View & Download Count
Items in S-Space are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.