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단원자 증착법(ALD)으로 증착한 Ru 박막을 이용한 박막형 다층 세라믹 캐패시터(MLCC)의 제조 및 특성 연구
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- Authors
- Advisor
- 황철성
- Issue Date
- 2008
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 원자층증착방법(ALD) ; ALD ; 루테늄(Ru) ; Ru ; 전극 ; electrode ; MIM capacitor ; MIM capacitor ; 건식 식각 ; dry etch ; 습식 식각 ; wet etch
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2008.2.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041118
https://hdl.handle.net/10371/15111
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