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레이저 유기 형광법을 이용한 플라즈마 내의 밀도 및 전계 측정에 관한 연구 : A Study on the measurement of the radical density and the electric field in plasma using the laser-induced fluorescence
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 황기웅 | - |
| dc.contributor.author | 김정훈 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-15T04:16:23Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-15T04:16:23Z | - |
| dc.date.copyright | 2001. | - |
| dc.date.issued | 2001 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000063490 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/30752 | - |
| dc.description | 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2001. | ko |
| dc.format.extent | xiii, 138 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | laser induced fluorescence spectroscopy | ko |
| dc.subject | 레이저 유기 형광법 | ko |
| dc.subject | high selective SiO₂ etching | ko |
| dc.subject | 고선택비 산화막 식각 | ko |
| dc.subject | helicon plasma | ko |
| dc.subject | 헬리콘 플라즈마 | ko |
| dc.subject | AC plasma display panel | ko |
| dc.subject | 교류형 플라즈마 표시기 | ko |
| dc.subject | wall voltage | ko |
| dc.subject | 벽전압 | ko |
| dc.title | 레이저 유기 형광법을 이용한 플라즈마 내의 밀도 및 전계 측정에 관한 연구 | ko |
| dc.title.alternative | A Study on the measurement of the radical density and the electric field in plasma using the laser-induced fluorescence | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기·컴퓨터공학부 | - |
| dc.description.degree | Doctor | ko |
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