Publications
Detailed Information
MEMS 기술을 이용한 비연성된 평면 진동형 방식의 관성 항법 장치용 마이크로자이로스코프의 설계, 제작 및 평가에 관한 연구 : A Design, fabrication and measurement of in-plane vibrating decoupled microgyroscope with INS grade performance
Cited 0 time in
Web of Science
Cited 0 time in Scopus
- Authors
- Advisor
- 김용권
- Issue Date
- 2001
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 마이크로자이로스코프 ; microgyroscope ; 감도 ; MEMS ; 정전 용량 감지 ; sensitivity ; 기생 용량 ; capacitive detection ; 모드 분리 ; parasitic capacitance ; decoupled mode
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000066392
https://hdl.handle.net/10371/30778
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Item View & Download Count
Items in S-Space are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.