MEMS 기술을 이용한 비연성된 평면 진동형 방식의 관성 항법 장치용 마이크로자이로스코프의 설계, 제작 및 평가에 관한 연구
A Design, fabrication and measurement of in-plane vibrating decoupled microgyroscope with INS grade performance
- Authors
- 임형택
- Advisor
- 김용권
- Issue Date
- 2001
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 마이크로자이로스코프; microgyroscope; 감도; MEMS; 정전 용량 감지; sensitivity; 기생 용량; capacitive detection; 모드 분리; parasitic capacitance; decoupled mode
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000066392
http://hdl.handle.net/10371/30778
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