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A study on advanced RPECVD technology and its application to reliable GaAs power PHEMTs and MMICs : 신뢰성 있는 GaAs 전력용 PHEMTs 와 MMICs를 위한 개선된 RPECVD 기술 및 그 응용에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 서광석 | - |
| dc.contributor.author | 이재학 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-15T04:17:51Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-15T04:17:51Z | - |
| dc.date.copyright | 2001. | - |
| dc.date.issued | 2001 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000063580 | eng |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/30788 | - |
| dc.description | Thesis (doctoral)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001. | en |
| dc.format.extent | viii, 184 leaves | en |
| dc.language.iso | en | en |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | en |
| dc.subject | PHEMTs | en |
| dc.subject | 표준 SNU-ISRC MMIC 제작공정 | en |
| dc.subject | MIM | en |
| dc.subject | 신뢰성 | en |
| dc.subject | Si-ICL | en |
| dc.subject | 항복전압의 변화 | en |
| dc.subject | RPECVD | en |
| dc.subject | 초박막 메탈-메탈 캐패시터 | en |
| dc.subject | reliability | en |
| dc.subject | 드레인 전류 주파수의존성 | en |
| dc.title | A study on advanced RPECVD technology and its application to reliable GaAs power PHEMTs and MMICs | en |
| dc.title.alternative | 신뢰성 있는 GaAs 전력용 PHEMTs 와 MMICs를 위한 개선된 RPECVD 기술 및 그 응용에 관한 연구 | - |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기.컴퓨터공학부 | - |
| dc.description.degree | Doctor | en |
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