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A study on the excimer laser annealing methods for large and uniform grain structure in polycrystalline silicon thin film transistor : 多結晶 실리콘 薄膜 트랜지스터의 그레인 크기 및 均一度를 向上시키기 위한 엑시머 레이저 어닐링 方法에 관한 硏究
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 한민구 | - |
dc.contributor.author | 전재홍 | - |
dc.date.accessioned | 2010-01-15T04:18:23Z | - |
dc.date.available | 2010-01-15T04:18:23Z | - |
dc.date.copyright | 2001. | - |
dc.date.issued | 2001 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000063413 | eng |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/30801 | - |
dc.description | Thesis (doctoral)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001. | en |
dc.format.extent | xii, 134 leaves | en |
dc.language.iso | en | en |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | en |
dc.subject | polycrystalline silicon thin film transistor | en |
dc.subject | 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 | en |
dc.subject | excimer laser annealing | en |
dc.subject | 엑시머 레이저 어닐링 | en |
dc.subject | grain structure | en |
dc.subject | 그레인 구조 | en |
dc.subject | field effect mobility | en |
dc.subject | 전계 효과 이동도 | en |
dc.subject | leakage current | en |
dc.title | A study on the excimer laser annealing methods for large and uniform grain structure in polycrystalline silicon thin film transistor | en |
dc.title.alternative | 多結晶 실리콘 薄膜 트랜지스터의 그레인 크기 및 均一度를 向上시키기 위한 엑시머 레이저 어닐링 方法에 관한 硏究 | - |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 전기.컴퓨터공학부 | - |
dc.description.degree | Doctor | en |
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