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표면 마이크로머시닝 기술에 의해 제작된 마이크로미러의 잔류응력 추정 및 곡률보상에 관한 연구 : A study on the residual stress estimation and curvature compensation in surface micromachined micromirror
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- Authors
- Advisor
- 김용권
- Issue Date
- 2000
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 마이크로미러 ; micromirror ; 잔류응력 ; residual stress ; 모델링 ; Modeling ; 최소 오차법 ; Least squares fit ; 곡률 보상 ; Curvature compensation
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기공학부,2000.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000070716
https://hdl.handle.net/10371/30861
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