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Poly-Si TFT LCD용 대면적 레이저 결정화 기술 및 도핑 방법에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 한민구
- Issue Date
- 2001
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- poly-Si TFT ; Excimer Laser Annealing ; 레이저 어닐링 ; recrystallization ; 결정화 ; laser doping ; TEM ; lateral growth ; 수평 성장 ; grain boundary ; 그레인 경계 ; BSG ; PSG ; laser doping ; 레이저 도핑
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000065220
https://hdl.handle.net/10371/31097
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