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Poly-Si TFT LCD용 대면적 레이저 결정화 기술 및 도핑 방법에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 한민구 | - |
| dc.contributor.author | 정상훈 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-15T04:35:14Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-15T04:35:14Z | - |
| dc.date.copyright | 2001. | - |
| dc.date.issued | 2001 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000065220 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/31097 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001. | ko |
| dc.format.extent | iii, 58 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | poly-Si TFT | ko |
| dc.subject | Excimer Laser Annealing | ko |
| dc.subject | 레이저 어닐링 | ko |
| dc.subject | recrystallization | ko |
| dc.subject | 결정화 | ko |
| dc.subject | laser doping | ko |
| dc.subject | TEM | ko |
| dc.subject | lateral growth | ko |
| dc.subject | 수평 성장 | ko |
| dc.subject | grain boundary | ko |
| dc.subject | 그레인 경계 | ko |
| dc.subject | BSG | ko |
| dc.subject | PSG | ko |
| dc.subject | laser doping | ko |
| dc.subject | 레이저 도핑 | ko |
| dc.title | Poly-Si TFT LCD용 대면적 레이저 결정화 기술 및 도핑 방법에 관한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기.컴퓨터공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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