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단결정 실리콘을 이용한 기어형 액튜에이터의 제작
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- Authors
- Advisor
- 전국진
- Issue Date
- 2001
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 몸체 미세가공기술 ; Bulk micromachining ; 충격형 미세 구동기 ; micro impact actuator ; 단결정 실리콘 ; single crystalline silicon ; 기어 ; gear
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000065187
https://hdl.handle.net/10371/31114
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