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진공용 3자유도 얼라인먼트 스테이지의 정밀도 향상 기술 개발
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- Authors
- Advisor
- 박희재
- Issue Date
- 2001
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 얼라인먼트 스케이지 ; 진공환경 ; 병렬 링크구조 ; 위치정밀도 ; 반복정밀도 ; 하이퍼패치 ; Alignment Stage ; Vacuum Envitonment ; Parallel Link Structure ; Accuracy ; Repeatability ; Hyperpatch
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2001.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000065432
https://hdl.handle.net/10371/33792
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