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Ultra-precision micro-stage for active vibration control : 능동형 진동 제어를 위한 초정밀 마이크로 스테이지
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- Authors
- Advisor
- 김종원
- Issue Date
- 2006
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 능동형 진동 제어 ; Active Vibration Control ; 초정밀 마이크로 스테이지 ; Ultra-Precision Micro-Stage ; 압전 구동 소자 ; Piezoelectric actuator ; 탄성 힌지 ; Flexure hinge ; 레버-링크구조 ; Lever-linkage ; 시스템 식별 ; System identification ; 유한 요소법 ; Finite element method ; 모델 불확실성 ; Model uncertainty ; 강인 제어기 ; μ-synthesis
- Description
- Thesis(doctor`s)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2006.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000048714
https://hdl.handle.net/10371/44288
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