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다구치 방법을 이용한 비정질 수정 건식 식각 공정 조건 최적화와 비정질 수정 외팔보의 Q-factor 분석 : Optimization for fused quartz DRIE process using taguchi method and Q factor analysis for fused quartz micro cantilever
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김용권 | - |
| dc.contributor.author | 송은석 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-26T06:16:02Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-26T06:16:02Z | - |
| dc.date.copyright | 2009. | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000037040 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/44762 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부, 2009.2. | ko |
| dc.format.extent | viii, 75장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 비정질 수정 | ko |
| dc.subject | Q factor | ko |
| dc.subject | 다구치 방법 | ko |
| dc.subject | 외팔보 구조물 | ko |
| dc.subject | 열탄성 댐핑 | ko |
| dc.subject | support 댐핑 | ko |
| dc.subject | air 댐핑 | ko |
| dc.title | 다구치 방법을 이용한 비정질 수정 건식 식각 공정 조건 최적화와 비정질 수정 외팔보의 Q-factor 분석 | ko |
| dc.title.alternative | Optimization for fused quartz DRIE process using taguchi method and Q factor analysis for fused quartz micro cantilever | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기. 컴퓨터공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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