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상온에서 ICP-CVD를 이용하여 제작된 미세결정 실리콘 TFT에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 한민구
- Issue Date
- 2008
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 박막 트랜지스터 ; thin film transistor ; 미세결정 실리콘 ; nanocrystalline silicon ; 실리콘 산화막 ; silicon dioxide ; 유도결합 플라즈마 ; Inductively coupled plasma ; 화학적 기상증착법 ; chemical vapor deposition ; 플렉서블 디스플레이 ; flexible display
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2008.2
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041254
https://hdl.handle.net/10371/45162
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