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Phosphorus implantation effects during the growth of diamond on field emission : 다이아몬드의 성장 중 인의 이온 주입이 전계 방출에 미치는 영향
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- Authors
- Advisor
- 이종덕
- Issue Date
- 2004
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 인 이온 ; Phosphorus ions ; 이온 주입 ; Implantation ; 마이크로 플라즈마 화학 기상 증착 ; Micro plasma chemical vapor deposition (mpcvd) ; 이차이온 질량 분석 ; Secondary ions mass spectrometry(sims) ; 결함 ; Defects ; 실리콘-다이아몬드 계면 ; Si-diamond interface ; 작은 그레인 ; Small grain ; 전계 방출 소자 ; Field emitter arrays(feas) ; 전이 몰드 공정 ; Transfer mold technique ; 이방성 전도 필름 ; Anisotropic conductive film (acf) ; 몰리브덴-다이아몬드 계면 ; Mo-diamond interface
- Description
- Thesis (doctoral)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2004.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000055353
https://hdl.handle.net/10371/45476
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