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SiOG 기판을 이용한 단결정 실리콘 RF MEMS 스위치의 제작 및 특성에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 김용권
- Issue Date
- 2004
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2004.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000054325
https://hdl.handle.net/10371/45593
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