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Study on mechanical properties of alumium thin film in micro-bridge structure : 마이크로 다리를 이용한 알루미늄 박막의 기계적 특성 연구
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- Authors
- Advisor
- 차국린
- Issue Date
- 2006
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 마이크로 공진기 ; micro-resonator ; 마이크로 다리 ; micro-bridge ; MEMS ; microelectromechanical system (MEMS) ; 기계적 성질 ; mechanical property ; 알루미늄 박막 ; aluminum thin film ; 내부 스트레스 ; internal stress ; 열적 스트레스 ; thermal stress ; 비선형 진동 ; nonlinear oscillation
- Description
- Thesis(doctor`s) --서울대학교 대학원 :물리학부,2006.
- Language
- English
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