Publications
Detailed Information
극미세 패터닝 기술을 이용한 단전자 트랜지스터의 제작에 관한 연구
Cited 0 time in
Web of Science
Cited 0 time in Scopus
- Authors
- Advisor
- 박병국
- Issue Date
- 2003
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- Sidewall spacer 패터닝 ; Sidewall spacer patterning ; Trimming ; Fine line width ; 미세 선폭 ; Single electron transistor ; 단전자 트랜지스터 ; Quantum dot ; 양자점 ; Tunneling ; 터널링 ; Coulomb blockade ; Coulomb oscillation
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2003.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000058057
https://hdl.handle.net/10371/48268
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Item View & Download Count
Items in S-Space are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.