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ICP RIE를 이용한 GaAs p-HEMT 성능 향상에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 서광석 | - |
| dc.contributor.author | 이진식 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-02-02T07:10:43Z | - |
| dc.date.available | 2010-02-02T07:10:43Z | - |
| dc.date.copyright | 2008. | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041220 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/48381 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2008.2 | ko |
| dc.format.extent | 49 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 가스피헴트 | ko |
| dc.subject | GaAs p-HEMT | ko |
| dc.subject | 소스저항 | ko |
| dc.subject | Rs | ko |
| dc.subject | 트랜스컨덕턴스 | ko |
| dc.subject | gm | ko |
| dc.subject | 인듐갈륨포스파이드 | ko |
| dc.subject | InGaP | ko |
| dc.subject | 플라즈마 | ko |
| dc.subject | InGaAs HEMT | ko |
| dc.subject | ICP plasma etcher | ko |
| dc.title | ICP RIE를 이용한 GaAs p-HEMT 성능 향상에 관한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기. 컴퓨터공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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