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보조회절마스크를 이용한 광리소그라피에서 상변형에 관한 연구
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 이성묵 | - |
dc.contributor.author | 최재원 | - |
dc.date.accessioned | 2010-02-04T06:45:15Z | - |
dc.date.available | 2010-02-04T06:45:15Z | - |
dc.date.copyright | 1995. | - |
dc.date.issued | 1995 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000083615 | kog |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/49942 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :과학교육과 물리전공,1995. | ko |
dc.format.extent | ⅲ, 45 장 | ko |
dc.language.iso | ko | ko |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
dc.title | 보조회절마스크를 이용한 광리소그라피에서 상변형에 관한 연구 | ko |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 과학교육과 물리전공 | - |
dc.description.degree | Master | ko |
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