전자회전공명과 마이크로 웨이브 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 (100) 실리콘 위에서의 다이아몬드성 탄소 박막 및 고배향성 다이아몬드 박막 성장 기구에 관한 연구
A Study on the growth mechanism of diamond-like carbon film and highly oriented diamond film on (100) silicon by electron cyclotron resonance and microwave plasma enhanced chemical vapor deposition

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  • mendeley

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