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다결정 실리콘 박막 형성을 위한 새로운 저온 결정화 방법에 관한 연구 : 금속유도 측면결정화 : A Study on the new low-temperature crystallization method for the formation of polycrystalline silicon thin films : Metal-induced lateral crystallization
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- Authors
- Advisor
- 주승기
- Issue Date
- 1996
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 ; Liquid Crystal Displays ; 액정 표시 소자 ; Metal-Induced lateral Crystallization ; 금속유도 측면결정화 ; epitaxy ; 에피택시 ; Pd-MIC ; Pd-MILC ; SPC
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,1996.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000081549
https://hdl.handle.net/10371/50874
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