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1,3-disilabutane을 이용한 SiC 박막 증착 메카니즘에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이지화 | - |
| dc.contributor.author | 오종혁 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-02-07T23:42:23Z | - |
| dc.date.available | 2010-02-07T23:42:23Z | - |
| dc.date.copyright | 1998. | - |
| dc.date.issued | 1998 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000075473 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/51139 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :공업화학과,1998. | ko |
| dc.format.extent | ii, 42 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.title | 1,3-disilabutane을 이용한 SiC 박막 증착 메카니즘에 관한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 공업화학과 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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