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SiO₂위에 LPCVD로 증착한 Si/Si₀.₆₉Ge₀.₃₁과 Si₀.₆₉Ge₀.₃₁/Si 박막의 결정화 거동에 대한 연구
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- Authors
- Advisor
- 김기범
- Issue Date
- 1996
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :금속공학과 재료공학전공,1996.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000080853
https://hdl.handle.net/10371/52201
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