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Charging effect mitigation of the micromirror using floating field limiting shield : 무접지 보호막을 이용한 마이크로 미러의 전하 효과 완화에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 김용권
- Issue Date
- 2007
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 마이크로 미러 ; micromirror ; 전하 효과 ; charging effect ; 편류각 ; drift ; 점착 ; stiction ; 바닥전극 ; bottom electrode ; 무접지 보호막 ; floating field limiting shield
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2007.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000043926
https://hdl.handle.net/10371/52456
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