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Numerical simulation of Cu MOCVD in a single - wafer reactor : 단웨이퍼 반응기에서 유기금속화학증착에 의한 구리박막 성장의 수치 모사
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이홍희 | - |
| dc.contributor.author | 김백만 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-03-09T07:13:09Z | - |
| dc.date.available | 2010-03-09T07:13:09Z | - |
| dc.date.copyright | 1996. | - |
| dc.date.issued | 1996 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000082091 | eng |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/59007 | - |
| dc.description | Thesis (master`s)--서울대학교 대학원 :화학공학과,1996. | en |
| dc.format.extent | vii, 59 p. | en |
| dc.language.iso | en | en |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | en |
| dc.title | Numerical simulation of Cu MOCVD in a single - wafer reactor | en |
| dc.title.alternative | 단웨이퍼 반응기에서 유기금속화학증착에 의한 구리박막 성장의 수치 모사 | - |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 화학공학과 | - |
| dc.description.degree | Master | en |
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