Publications
Detailed Information
금속 실리사이드를 이용한 박막히터의 제젝[실은 작]과 그 열적 특성 규명 및 응용에 관한 연구 : Studies on the characteristics and fabrications of the metal silicides thin film heater and their applications
Cited 0 time in
Web of Science
Cited 0 time in Scopus
- Authors
- Advisor
- 주승기
- Issue Date
- 2003
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 박막히터 ; Thin film heater ; 고상 결정화 ; Spc ; 비정질 실리콘 ; Amorphous si ; 다결정 실리콘 ; Poly si ; 고온 공정 ; High temperature process ; 저온 공정 ; Low temperature process
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :공업화학과,2003.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000059313
https://hdl.handle.net/10371/59507
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Item View & Download Count
Items in S-Space are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.