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실리콘 화학 기상 증착 중 생성되는 하전된 입자의 거동에 필라멘트 주변에 생성되는 전기장이 미치는 영향 : Effect of Electric Field around Hot Wires on Deposition Behavior of Charge Carriers during Hot-Wire Chemical Vapor Deposition of Silicon
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- Authors
- Advisor
- 황농문
- Issue Date
- 2010
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 박막 ; Thin Film ; 열필라멘트 화학 기상 증착 ; Hot Wire Chemical Vapor Deposition ; 하전된 나노 입자 ; Charged Nano Particle ; 실리콘 ; Silicon
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2010.2.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000033299
https://hdl.handle.net/10371/64797
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