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다중양자우물의 상호 섞임 현상을 이용한 다중파장검출기의 제작 : Fabrication of Wavelengh Division Demultiplexing Photodetectors Using Quantum Well Intermixing

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Authors

여덕호; 윤경훈; 김성준

Issue Date
2000-09
Publisher
대한전자공학회 = The Institute of Electronics Engineers of Korea
Citation
전자공학회논문지, 제37권 SD편, 제9호, 667-672쪽, 2000년 9월
Abstract
InGaAs/InGaAsP 다중양자우물구조에 불순물없는 vacancy 확산으로 지역 선택적인 상호 섞임 현상을 유도하고, 다중 파장 검출이 가능한 집적 광도파로형 photodetector를 제작 및 측정하였다. 다중양자우물구조는 상호섞임에 의하여 밴드갭이 크게 청색편이 하였다. 집적 광수신소자는 p-i-n 구조이며, 밴드갭이 큰 영역과 작은 영역이 광도파로를 따라 일렬이 되도록 하였다. 광도파로의 폭은 20um이며, 각 광수신소자의 길이는 250um이다. Tunable 레이저와 편광기를 이용하여, TE/TM 편광된 빛을 광수신소자에 butt-coupling 방법으로 입사하여 소자의 파장 특성을 측정하였따. 제작된 소자는 1480nm 와 1550nm 파장 영역을 분리, 수광할 수 있음을 보였다.
ISSN
1229-6368
Language
Korean
URI
http://uci.or.kr/G300-j12296392.v37n09p1

https://hdl.handle.net/10371/7864
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