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Sheath dynamics and plasma recovery in plasma source ion implantation : 플라즈마 원 이온 주입 기술에서 쉬스 동역학 및 플라즈마의 회복에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 황용석 | - |
| dc.contributor.author | 정경재 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-16T07:53:25Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-16T07:53:25Z | - |
| dc.date.copyright | 2007. | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000045061 | eng |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/12219 | - |
| dc.description | Thesis(doctor`s)--서울대학교 대학원 :원자핵공학과,2007. | eng |
| dc.format.extent | xiii, 169 p. | eng |
| dc.language.iso | en | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | eng |
| dc.subject | 플라즈마 원 이온 주입 | eng |
| dc.subject | Plasma source ion implantation (PSII) | eng |
| dc.subject | 희박파 | eng |
| dc.subject | Rarefaction wave | eng |
| dc.subject | 동적 플라즈마 쉬스 | eng |
| dc.subject | Dynamic plasma sheath | eng |
| dc.subject | 플라즈마 회복 | eng |
| dc.subject | Plasma recovery | eng |
| dc.subject | 자체 일관적인 회로 모델 | eng |
| dc.subject | Self-consistent circuit model | eng |
| dc.subject | 고 반복률 | eng |
| dc.subject | High repetition-rate | eng |
| dc.title | Sheath dynamics and plasma recovery in plasma source ion implantation | eng |
| dc.title.alternative | 플라즈마 원 이온 주입 기술에서 쉬스 동역학 및 플라즈마의 회복에 관한 연구 | eng |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 원자핵공학과 | - |
| dc.description.degree | Doctor | eng |
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