플라즈마를 활용한 Ag 전극 위 폴리머 형성을 통한 OLED 발광 효율 향상에 관한 연구

Abstract

유기물에 정공과 전자를 주입시켜 재결합을 통해 빛을 발광하는 OLED는 자체 발광하는 소자로 후면광이 필요 없고 응답 속도가 빠르며 플라스틱 기판에도 적용 할 수 있는 장점들을 가지고 있다. 그렇지만 발광 과정이나 구조상의 특징으로 낮은 양자 효율을 가진다. 그러므로 전극과 유기물 사이에 존재하는 전하 주입 장벽을 조절하여 효율적인 정공과 전자의 주입을 유도한다면 양자 효율이 더 향상된 OLED를 만들 수 있을 것이다. 이러한 부분에 대한 많은 연구가 진행되었고 향상이 있었지만 그 과정이 복잡하거나 공정 과정이 비싸다는 한계점이 있다. 본 연구에서는 유리 기판 위에 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 Ag와 ITO를 증착한 뒤, 전극으로 사용하였다. 플라즈마를 이용하여 CHF3 가스를 중합하고 CFx layer를 만들어 양극 부분의 표면 특성 변화에 대해 살펴보았다. 그리고 실제 top emission OLED 소자를 제작하여 외부 양자 효율이 14% 증가한 결과를 얻었다. 플라즈마 중합 방법을 이용하여 은 전극의 표면을 변화시켜 OLED 소자의 양자 효율을 향상 시킨 방법은 공정 과정이 매우 단순하여 공정 단가의 절감과 높은 생산성을 가질 수 있고 대면적화에 유리하다는 장점이 있다. 따라서 본 논문에 쓰인 방법들을 OLED 소자에 적용한다면 양자 효율 향상과 함께 비용 절감에도 영향을 줄 수 있을 것이다.