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파라데이 상자를 이용한 다양한 각도의 플라즈마 식각
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 문상흡 | - |
dc.contributor.author | 이승행 | - |
dc.date.accessioned | 2009-11-18T06:09:49Z | - |
dc.date.available | 2009-11-18T06:09:49Z | - |
dc.date.copyright | 2008. | - |
dc.date.issued | 2008 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000039714 | kor |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/13170 | - |
dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2008.2. | kor |
dc.format.extent | v, 45 장 | kor |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
dc.subject | 다양한 각도의 플라즈마 식각 | kor |
dc.subject | multi-directional plasma etching | kor |
dc.subject | 파라데이 상자 | kor |
dc.subject | faraday cage | kor |
dc.subject | gas chopping process | kor |
dc.subject | gas chopping process | kor |
dc.title | 파라데이 상자를 이용한 다양한 각도의 플라즈마 식각 | kor |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 화학생물공학부 | - |
dc.description.degree | Master | kor |
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