Publications

Detailed Information

파라데이 상자를 이용한 다양한 각도의 플라즈마 식각

DC Field Value Language
dc.contributor.advisor문상흡-
dc.contributor.author이승행-
dc.date.accessioned2009-11-18T06:09:49Z-
dc.date.available2009-11-18T06:09:49Z-
dc.date.copyright2008.-
dc.date.issued2008-
dc.identifier.urihttp://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000039714kor
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10371/13170-
dc.description학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2008.2.kor
dc.format.extentv, 45 장kor
dc.language.isoko-
dc.publisher서울대학교 대학원kor
dc.subject다양한 각도의 플라즈마 식각kor
dc.subjectmulti-directional plasma etchingkor
dc.subject파라데이 상자kor
dc.subjectfaraday cagekor
dc.subjectgas chopping processkor
dc.subjectgas chopping processkor
dc.title파라데이 상자를 이용한 다양한 각도의 플라즈마 식각kor
dc.typeThesis-
dc.contributor.department화학생물공학부-
dc.description.degreeMasterkor
Appears in Collections:
Files in This Item:
There are no files associated with this item.

Altmetrics

Item View & Download Count

  • mendeley

Items in S-Space are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

Share