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College of Engineering/Engineering Practice School (공과대학/대학원)
Dept. of Chemical and Biological Engineering (화학생물공학부)
Theses (Master's Degree_화학생물공학부)
은 무전해 도금에서 주석 민감화와 팔라듐 활성화를 이용한 표면 전처리 방법 연구
- Authors
- 김서영
- Advisor
- 김재정
- Issue Date
- 2006
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 반도체; semiconductor; 금속 배선; metal interconnection; 은; Ag; 무전해 도금; electroless plating; 주석; Sn; 팔라듐; Pd; 전처리 방법; pretreatment; 씨앗층; seed layer
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2006.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000047856
http://hdl.handle.net/10371/13451
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