구리 열 증착 공정 중 발생하는 전류의 극성 변화와 근원

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구리 열 증착 공정 중 발생하는 전류의 극성 변화와 근원 : Polarity transition and origin of current generated during thermal evaporation of Cu

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	황농문	-
dc.contributor.author	신봉규	-
dc.date.accessioned	2009-11-24T02:59:49Z	-
dc.date.available	2009-11-24T02:59:49Z	-
dc.date.copyright	2005.	-
dc.date.issued	2005	-
dc.identifier.uri	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000051055	kor
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/14289	-
dc.description	학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2005.	kor
dc.format.extent	50 장	kor
dc.language.iso	ko	-
dc.publisher	서울대학교 대학원	kor
dc.subject	열 필라멘트 화학 기상 증착법	kor
dc.subject	Hot-wire chemical vapor deposition	kor
dc.subject	전류	kor
dc.subject	Current	kor
dc.subject	전하를 띤 클러스터 이론	kor
dc.subject	Theory of charged clusters	kor
dc.subject	구리	kor
dc.subject	Cu	kor
dc.subject	열 증착	kor
dc.subject	Thermal evaporation	kor
dc.subject	이온화율	kor
dc.subject	Ionization efficiency	kor
dc.subject	표면 이온화	kor
dc.subject	Surface ionization	kor
dc.subject	산화막	kor
dc.subject	Tungsten oxide	kor
dc.subject	열전자	kor
dc.subject	Thermionic emission	kor
dc.subject	클러스터	kor
dc.subject	Cluster	kor
dc.title	구리 열 증착 공정 중 발생하는 전류의 극성 변화와 근원	kor
dc.title.alternative	Polarity transition and origin of current generated during thermal evaporation of Cu	kor
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.department	재료공학부	-
dc.description.degree	Master	kor

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