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PE-ALD로 증착한 SnO2 박막의 결정학적 배향성에 따른 수소와 일산화탄소 가스 감응 특성
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 홍성현 | - |
| dc.contributor.author | 김대홍 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-25 | - |
| dc.date.available | 2009-11-25 | - |
| dc.date.copyright | 2008. | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000042149 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14826 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2008.8. | kor |
| dc.format.extent | xii, 109 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 가스 센서 | kor |
| dc.subject | gas sensor | kor |
| dc.subject | SnO2 박막 | kor |
| dc.subject | SnO2 thin film | kor |
| dc.subject | PE-ALD | kor |
| dc.subject | PE-ALD | kor |
| dc.subject | 결정 배향성 | kor |
| dc.subject | orientation | kor |
| dc.subject | 사파이어 기판 | kor |
| dc.subject | sapphire substrate | kor |
| dc.subject | epitaxy | kor |
| dc.subject | TEM | kor |
| dc.subject | pole figure | kor |
| dc.subject | XPS | kor |
| dc.title | PE-ALD로 증착한 SnO2 박막의 결정학적 배향성에 따른 수소와 일산화탄소 가스 감응 특성 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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