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단원자 증착법(ALD)으로 증착한 Ru 박막을 이용한 박막형 다층 세라믹 캐패시터(MLCC)의 제조 및 특성 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 황철성 | - |
| dc.contributor.author | 이상영 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-25T03:24:53Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-25T03:24:53Z | - |
| dc.date.copyright | 2008. | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041118 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/15111 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2008.2. | kor |
| dc.format.extent | 104 p. | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 원자층증착방법(ALD) | kor |
| dc.subject | ALD | kor |
| dc.subject | 루테늄(Ru) | kor |
| dc.subject | Ru | kor |
| dc.subject | 전극 | kor |
| dc.subject | electrode | kor |
| dc.subject | MIM capacitor | kor |
| dc.subject | MIM capacitor | kor |
| dc.subject | 건식 식각 | kor |
| dc.subject | dry etch | kor |
| dc.subject | 습식 식각 | kor |
| dc.subject | wet etch | kor |
| dc.title | 단원자 증착법(ALD)으로 증착한 Ru 박막을 이용한 박막형 다층 세라믹 캐패시터(MLCC)의 제조 및 특성 연구 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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