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College of Engineering/Engineering Practice School (공과대학/대학원)
Dept. of Mechanical Aerospace Engineering (기계항공공학부)
Theses (Ph.D. / Sc.D._기계항공공학부)
Study on characterization of the nanoscale patterns fabricated by thermal nanoimprint lithographic process
나노 임프린트 공정으로 구현된 나노패턴의 특성에 관한 연구
- Authors
- 이동언
- Advisor
- 이우일
- Major
- 기계항공공학부
- Issue Date
- 2011-08
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 나노임프린트 리소그래피; 점착력; 고분자; 원자현미경; 미세구조물; NIL; Adhesion; Polymer; AFM; Pull-off Force; Nano-pattern; Nano Technology
- Description
- 학위논문 (박사)-- 서울대학교 대학원 : 기계항공공학부, 2011.8. 이우일.
- Language
- eng
- URI
- http://hdl.handle.net/10371/158480
http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000031030
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