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(A) study on the utilization of surface treatment for anisotropic wrinkle patterning and align stiction in imprint lithography process : 표면처리 효과를 이용한 자기조립형 대면적 미세패턴 형성과 임프린트 공정에서의 정렬마찰 저감에 대한 연구
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 이우일 | - |
dc.contributor.author | 강석환 | - |
dc.date.accessioned | 2019-07-10T03:18:36Z | - |
dc.date.available | 2019-07-10T03:18:36Z | - |
dc.date.issued | 2011-02 | - |
dc.identifier.other | 000000028980 | - |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/158503 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000028980 | ko_KR |
dc.description | 학위논문 (박사)-- 서울대학교 대학원 : 기계항공공학부, 2011.2. 이우일. | - |
dc.format.extent | xiii, 119 p. | - |
dc.language.iso | eng | - |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | - |
dc.subject | 표면처리 | - |
dc.subject | 플라즈마 | - |
dc.subject | 액정폴리머 | - |
dc.subject | 이방성 주름 | - |
dc.subject | 임프린트 리소그래피 | - |
dc.subject | 정렬공정 | - |
dc.subject | 표면장력. | - |
dc.subject | Surface treatment | - |
dc.subject | Plasma | - |
dc.subject | Anisotropy | - |
dc.subject | Liquid Crystalline Polymer (LCP) | - |
dc.subject | Wrinkle | - |
dc.subject | Imprint lithography | - |
dc.subject | Surface tension | - |
dc.subject | Stiction | - |
dc.subject | Capillary adhesion. | - |
dc.title | (A) study on the utilization of surface treatment for anisotropic wrinkle patterning and align stiction in imprint lithography process | - |
dc.title.alternative | 표면처리 효과를 이용한 자기조립형 대면적 미세패턴 형성과 임프린트 공정에서의 정렬마찰 저감에 대한 연구 | - |
dc.type | Thesis | - |
dc.type | Dissertation | - |
dc.description.degree | Doctor | - |
dc.contributor.affiliation | 기계항공공학부 | - |
dc.date.awarded | 2011-02 | - |
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