구리 화학적 기계적 평탄화 공정에서 유기산 세정액의 영향성 연구

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구리 화학적 기계적 평탄화 공정에서 유기산 세정액의 영향성 연구 : Study on th effect of cleaning solution based on organic acid in copper chemical mechanical planarization

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	김재정	-
dc.contributor.author	조범구	-
dc.date.accessioned	2019-07-10T06:30:26Z	-
dc.date.available	2019-07-10T06:30:26Z	-
dc.date.issued	2011-02	-
dc.identifier.other	000000030041	-
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/160225	-
dc.identifier.uri	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000030041	ko_KR
dc.description	학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 화학생물공학부, 2011.2. 김재정.	-
dc.format.extent	ix, 82장	-
dc.language.iso	kor	-
dc.publisher	서울대학교 대학원	-
dc.subject	구리배선형성	-
dc.subject	구리 CMP	-
dc.subject	세정액	-
dc.subject	착물형성제	-
dc.subject	부식방지제	-
dc.subject	에틸렌디아민사초산	-
dc.subject	구연산	-
dc.subject	아미노테트라졸	-
dc.subject	부식	-
dc.subject	2차 오염	-
dc.subject	클리닝	-
dc.subject	워싱	-
dc.subject	metallization	-
dc.subject	copper CMP	-
dc.subject	cleaning solution	-
dc.subject	complexing agent	-
dc.subject	corrosion inhibitor	-
dc.subject	ethylenediaminetetraacetic acid	-
dc.subject	EDTA	-
dc.subject	citric acid	-
dc.subject	5-aminotetrazole	-
dc.subject	corrosion	-
dc.subject	cleaning	-
dc.subject	washing	-
dc.title	구리 화학적 기계적 평탄화 공정에서 유기산 세정액의 영향성 연구	-
dc.title.alternative	Study on th effect of cleaning solution based on organic acid in copper chemical mechanical planarization	-
dc.type	Thesis	-
dc.type	Dissertation	-
dc.description.degree	Master	-
dc.contributor.affiliation	화학생물공학부	-
dc.date.awarded	2011-02	-

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