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ALD HfO₂게이트 유전막의 특성 향상에 대한 연구
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 황철성 | - |
dc.contributor.author | 박홍배 | - |
dc.date.accessioned | 2009-11-27T05:46:38Z | - |
dc.date.available | 2009-11-27T05:46:38Z | - |
dc.date.copyright | 2004. | - |
dc.date.issued | 2004 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000054151 | kor |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/16668 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2004. | kor |
dc.format.extent | viii, 92 장 | kor |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
dc.title | ALD HfO₂게이트 유전막의 특성 향상에 대한 연구 | kor |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
dc.description.degree | Master | kor |
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