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ULSI용 구리배선에서의 도금공정 및 결정성에 대한 연구 : (A)Study on the electroplating process and crystallographic characteristics for copper interconnect
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이동녕 | - |
| dc.contributor.author | 이효종 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-27T06:50:24Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-27T06:50:24Z | - |
| dc.date.copyright | 2003. | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000058980 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/16803 | - |
| dc.description | 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2003. | kor |
| dc.format.extent | x, 88 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | kor |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 구리 | kor |
| dc.subject | Copper | kor |
| dc.subject | 도금 | kor |
| dc.subject | Electroplating | kor |
| dc.subject | 직접회로 | kor |
| dc.subject | ULSI | kor |
| dc.subject | 상감공정 | kor |
| dc.subject | EBSD | kor |
| dc.subject | 전자후방산란회절 | kor |
| dc.subject | Damascene | kor |
| dc.title | ULSI용 구리배선에서의 도금공정 및 결정성에 대한 연구 | kor |
| dc.title.alternative | (A)Study on the electroplating process and crystallographic characteristics for copper interconnect | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Doctor | kor |
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