Coupled frequency mode 를 이용한 EFM imaging

Abstract

EFM image 중 생기는 AC modulation 에 대한 ω_M±ω_E 신호를 관찰한 Image와 Dynamic contact EFM(DC-EFM), 일반 EFM을 Triglycine sulfate (TGS)와 Lead zirconate titanate(PZT) 에서 비교하고 장단점을 비교한 뒤, ω_M±ω_E 신호를 관찰한 EFM 의 modulation frequency 변화에 따른 Image Quality 변화를 관찰하였다. 기존 EFM 에 비해 DC-EFM 에서는 높은 image 해상도를 얻을 수 있었지만 Contact mode 에서는 Sample 에 damage 가 갈 수 있다는 단점이 있으며, ω_M±ω_E 신호를 관찰한 EFM 에서는 DC-EFM 보다는 image quality 가 다소 떨어지나, 일반 EFM보다는 높았으며, noncontact mode 였으므로 sample의 손상이 DC-EFM 보다 낮았으며, ω_M±ω_E 신호를 이용한 EFM 에서는 stiff tip 을 사용할 수가 있었다. Modulation frequency에 따른 image quality 는 증가하다 감소하는 경향을 관찰할 수 있었다.